超聲波清洗（ultrasonic cleaning）是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。目前所用的超聲波清洗機中，空化作用和直進流作用應用得更多。

超聲波用于清洗始于20世紀30年代，隨著技術的日漸成熟．超聲波清洗被廣泛應用于航空航天工業(yè)清洗發(fā)動機、液壓及過濾系統(tǒng)、電子行業(yè)清洗硅片、電路板和電器元件的制作中等。90年代初，超聲波清洗開始逐漸運用到光學零件清洗，最初光學零件超聲波清洗技術不成熟，只是應用于工序間的清洗和光學零件拋光完工件的清洗．后來才逐漸發(fā)展到光學零件鍍前的超凈清洗。超聲波清洗工藝作為光學零件加工過程中的重要一環(huán)，它逐漸代替了傳統(tǒng)的手工清洗及精擦操作，使清洗及精擦的效率成倍或十多倍的提高，為光學工業(yè)生產輔助工序實現(xiàn)機械化、自動化提供了條件。對于光學鍍膜元件來說。玻璃基底的清潔程度是影響鍍膜產品質量好壞的關鍵因素之一。保障光學零件表面鍍膜前的潔凈度，可以降低薄膜內的雜質污染物，鍍膜前光學零件的超聲波清洗至關重要。光學零件進入鍍膜室前，不管鍍膜外觀要求如何，均應進行認真的鍍前處理(即超聲清洗處理)，超聲波清洗時要根據(jù)玻璃材質、尺寸大小和厚薄等因素采取不同的工藝，從而達到去油、去污和脫水的目的，這是提高膜層牢固度的重要措施之一。對于光學鍍膜零件，玻璃基底的清潔程度是影響鍍膜產品表面質量的關鍵因素之一，保障光學零件表面鍍膜前的潔凈度，可以降低薄膜內的雜質污染物，因此鍍膜前光學零件的超聲波清洗至關重要。