超聲波清洗設(shè)備無論功率大小，基本上由清洗槽、換能器、超聲波發(fā)生器三部分組成。其中大型多槽式清洗器還包括機(jī)械傳動(dòng)裝置、清洗液回流過濾裝置、溫度控制裝置、噴流裝置和烘干設(shè)備，如果是用碳?xì)浠�合物溶劑清洗，則還需真空及干燥設(shè)備。超聲波發(fā)生器即電源，產(chǎn)生電磁振蕩信號(hào)并提供能量；換能器即振板是超聲清洗的關(guān)鍵部分，它把發(fā)生器產(chǎn)生的電磁振動(dòng)轉(zhuǎn)換成換能器本身的超聲振動(dòng)。振板將高頻電能轉(zhuǎn)換成機(jī)械能之后，會(huì)產(chǎn)生振幅極小的高頻震動(dòng)并傳播到清洗槽內(nèi)的溶液中，在換能器的作用下，清洗液的內(nèi)部將不斷地產(chǎn)生大量微小的氣泡并瞬間破裂，每個(gè)氣泡的破裂都會(huì)產(chǎn)生數(shù)百度的高溫和近千個(gè)大氣壓的沖擊波，從而將光學(xué)零件沖刷干凈。

換能器是超聲波清洗設(shè)備中的主要部件，換能器的功用是將超聲波發(fā)生器輸送過來的電功率轉(zhuǎn)換成超聲波的機(jī)械振動(dòng)，然后通過不銹鋼槽體的輻射來促使清洗液也產(chǎn)生超聲波的機(jī)械振動(dòng)。電聲換能器分為兩種：電致伸縮換能器和磁致伸縮換能器。電致伸縮換能器又稱為壓電式換能器，壓電式換能器使用壓電陶瓷材料(如石英、鋯鈦酸鉛、鈦酸鉍鈉)制成的，然后把兩塊同極相對(duì)粘結(jié)在輻射體上。輻射體一般為與清洗槽緊密粘接的鋁塊，常見的有錐體喇叭狀與直棒形狀。錐體喇叭狀的聲輻射效率比棒狀的高．即輸人同樣的電功率，在清洗槽中得到較大的聲功率，而消耗在換能器上的電功率較少，因而換能器的發(fā)熱也低。當(dāng)輸入換能器的電功率相同時(shí)，由于喇叭狀輻射面的面積比棒狀換能器大，所以輻射面的聲強(qiáng)較低，與其粘結(jié)的清洗槽不銹鋼板表面腐蝕小，清洗槽的壽命延長(zhǎng)，所以一般情況下使用喇叭狀換能器較好。

清洗槽由不銹鋼制成，用來容納清洗液及待清洗的光學(xué)零件，可安裝加熱及控溫裝置，清洗槽底部粘接超聲波換能器。清洗槽是有限空間，超聲波由聲源向液面?zhèn)鞑�時(shí)，在液體和氣體的交界面會(huì)反射回來而形成駐波。駐波的特征是在液體空間的某些地方聲壓最小，而在另外一些地方聲壓最大，這樣會(huì)造成清洗不均勻的現(xiàn)象。要減少駐波的影響有時(shí)清洗槽特意做成不規(guī)則的形狀以避免駐波的形成。有時(shí)在超聲電源方面采取掃頻的方式，使聲壓最小處不固定在一個(gè)地方，而是不斷地移動(dòng)以達(dá)到較均勻的清洗。超聲波清洗效果取決于空化作用，超聲波強(qiáng)度越大，空化作用越明顯，清洗作用越好。另外，根據(jù)玻璃材料的不同，選擇適當(dāng)?shù)某�聲波�?qiáng)度，如清洗較軟的藍(lán)玻璃時(shí)超聲波強(qiáng)度可低些�？栈�作用隨著頻率的升高而降低的。